產(chǎn)品特性：

• 減振系統(tǒng)一般包含3或4個主動減振器，可根據(jù)需求靈活布置，包括正三角形、等腰三角形、矩形分布等.
• 結(jié)構(gòu)緊湊，外觀精美，6自由度抑振控制，具有極佳的隔振能力，也可加配被動減振器，提升減振系統(tǒng)負(fù)載能力。
• 采用前饋及反饋控制技術(shù)，采用高算力處理器、亞毫秒級制動器，進(jìn)行6自由度抑振控制，具有極佳的隔振、減振能力。
• 配置有運動前饋控制，快速整定臺面上部件運動帶來的高沖擊擾動，縮短臺面穩(wěn)定時間及平臺作業(yè)節(jié)拍時間，有效提升作業(yè)效率及設(shè)備運行精度。
• 友好的人機(jī)交互界面，無需專業(yè)知識，一鍵啟動減振。提供上位機(jī)程序向用戶開放調(diào)試通道，便于用戶快捷方便的自行調(diào)試。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)說明：

產(chǎn)品用途：

半導(dǎo)封裝檢測體設(shè)備、精密加工設(shè)備、激光退火設(shè)備、高精度高加速運動平臺等